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半導(dǎo)體單晶爐惰性氣體保護中使用美國GE Oxy.IQ微量氧分析儀監(jiān)控|埃登威自動化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司

半導(dǎo)體單晶爐惰性氣體保護中使用美國GE Oxy.IQ微量氧分析儀監(jiān)控

半導(dǎo)體工藝設(shè)備為半導(dǎo)體大規(guī)模制造提供制造基礎(chǔ)。摩爾定律，給電子業(yè)描繪的前景，必將是未來半導(dǎo)體器件的集成化、微型化程度更高，功能更強大。這里先介紹半導(dǎo)體工藝的頭道工序——單晶體拉胚的單晶爐。


單晶爐

單晶爐，全自動直拉單晶生長爐，是一種在惰性氣體（氮氣、氦氣為主）環(huán)境中，用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生長無錯位單晶的設(shè)備。主營:微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導(dǎo)氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃氣熱值儀,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析儀

單晶硅爐型號有兩種命名方式，一種為投料量，一種為爐室直徑。比如 120、150 等型號是由投料量決定， 85 爐則是指主爐筒的直徑大小。半導(dǎo)體單晶爐惰性氣體保護中使用美國GE Oxy.IQ微量氧分析儀監(jiān)控

單晶硅爐的主體構(gòu)成由主機、加熱電源和計算機控制系統(tǒng)三大部分組成。
氬氣系統(tǒng)由不銹鋼管、電磁截止閥、質(zhì)量流量控制器、減壓器、手動截止閥和柔性波紋管道構(gòu)成，在爐子的運行過程中向爐子內(nèi)提供氬氣。爐子上有兩個氬氣入口（副爐室頂部和爐蓋喉部）由質(zhì)量流量控制器控制，另一個氬氣入口（隔離閥座后部）是快充口，不由質(zhì)量流量控制器控制。氬氣由副爐室頂部的分流環(huán)分配以減少副爐室內(nèi)的紊流。主營:微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導(dǎo)氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃氣熱值儀,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析儀

1 質(zhì)量流量控制器

質(zhì)量流量控制器為氬氣進入主爐體提供精密的流量控制。

單晶硅的制備工藝不同，所得到產(chǎn)品的純度和性能差異很大，因此其下游應(yīng)用領(lǐng)域也有所區(qū)別。單晶硅在日常生活中是電子計算機、自動控制系統(tǒng)等現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)中不可缺少的基本材料。電視、電腦、手機、汽車，處處都離不開單晶硅材料，單晶硅作為科技應(yīng)用普及材料之一，已經(jīng)滲透到人們生活中的各個角落。半導(dǎo)體單晶爐惰性氣體保護中使用美國GE Oxy.IQ微量氧分析儀監(jiān)控


美國GE OXY-IQ氧分析儀是GE Panametrics O2X1氧變送器的更新型號，GE Panametrics oxy-iq氧變送器是一種高度可靠和具有成本效益的雙回路氧分析儀，線性化的4至20 mA輸出。可以測量ppm的范圍內(nèi)的氧氣和百分比范圍的氧。所有的范圍是用戶可選擇的。這個緊湊的發(fā)射機采用先進的傳感器技術(shù)，準確地測量各種氣體中的O2，即使在危險的環(huán)境中（特殊環(huán)境請?zhí)崆案嬷?/span>。主營:微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導(dǎo)氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃氣熱值儀,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析儀

GE Panametrics的oxy.iq是由一個微處理器，允許用戶選擇的控制范圍，調(diào)整輸出進行校準。編程是使用鍵盤和顯示器很容易做到。緊湊的oxy.iq設(shè)計容易適合任何安裝位置可以在取樣點安裝正確。

產(chǎn)品特點：

l 本質(zhì)**可選

l 燃料電池氧傳感器技術(shù)

l 一個可選擇的PPM和百分之比

l 友好和直觀的用戶界面與診斷半導(dǎo)體單晶爐惰性氣體保護中使用美國GE Oxy.IQ微量氧分析儀監(jiān)控

l 流程1/ 8“NPT連接在入口和出口（原裝）或者KF40接口定制主營:微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導(dǎo)氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃氣熱值儀,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析儀

l 全數(shù)字技術(shù)的可靠運行

l 低維護，經(jīng)濟和緊湊型

l 傳感器失效輸出誤差

l 氧傳感器壽命指標

l 誤差指示

技術(shù)參數(shù)：

l 量程：氧氣測量范圍0～1.0000%(10000PPM) 、0-25%

l 精度：±0.01%

l 分辨率：±0.0001%

l 線性：±1%FS主營:微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點儀,熱導(dǎo)氣體分析儀,GE流量計,OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃氣熱值儀,Kaye溫度驗證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點儀,干燥機露點儀,激光氣體分析儀,便攜式露點儀,便攜式微量氧分析儀

l 模擬輸出：4～20mA
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