單晶硅氬氣回收裝置中準確檢測氧含量使用ADEV在線微量氧分析儀
氬氣作為一種保護氣體包圍在單晶硅和多晶硅的液面周圍,可以保護單晶硅和多晶硅不被氧化。氬氣是一種單原子氣體,以原子狀 態(tài)存在,在高溫下沒有分子分解或原子吸熱的現(xiàn)象。氬氣的比熱容和熱傳導能力小,即本身吸 收量小,向外傳熱也少,所以氬氣的存在還可以減少熱能的散失,起到節(jié)能的作用。不僅如此 ,由于氬氣在單晶爐內是流動的,所以還可以帶走硅液中的揮發(fā)物,以及高溫下的其他部位的揮發(fā)物,這樣一來,就可以防止單晶硅或多晶硅液被沾污,而影響單晶硅的產品質量。另外,氬氣從上而下形成均勻的層流從晶體表面掠過,可以帶走結晶潛熱,從而可以保證單晶硅正常生長。單晶硅氬氣用量一般是多晶硅的4倍,單晶逐步替代多晶,需求大量氬氣。因此，氬氣回收系統(tǒng)成為單晶硅廠家的認可方案。單晶硅氬氣回收裝置中準確檢測氧含量使用ADEV在線微量氧分析儀
單晶硅制造裝置向廢氬氣貯槽導入含有氮氣、氧氣及一氧化碳的廢氬氣的工序、用去除所述廢氬氣中的固形物的預處理設備來去除所述固形物的工序、通過催化反應分別將所述氧氣轉化為水、將所述一氧化碳轉化為二氧化碳的工序、及去除所述水、所述二氧化碳及所述氮氣得到回收氣體的工序，在通過將催化劑配置于雙級壓縮機內，僅用壓縮熱進行所述催化反應來得到所述回收氣體的工序中，在預先用干燥機去除所述水后，用常溫吸附塔吸附去除所述氮氣、所述二氧化碳。由此提供一種使用簡單且低成本的設備，就能夠穩(wěn)定去除從單晶硅制造裝置排出的大風量氬氣中所含的雜質氣體的氬氣。
在氬氣回收過程中，需要實時在線檢測氬氣中微量氧含量的數(shù)值，以確認氬氣的純度，ADEV 8864H在線微量氧分析儀系統(tǒng)采用氧化鋯原理，測試準確，具有4-20mA模擬輸出，數(shù)據(jù)儲存及RS485輸出，測試范圍0-10ppm,0-100ppm等可選。
此外，該ADEV微量氧分析儀還應用在：單晶硅氬氣回收裝置中準確檢測氧含量使用ADEV在線微量氧分析儀
電子制造：
* 焊劑生產
* 半導體制造
* 氣體質量控制
*冶金行業(yè)
* 熱處理
* 鋼鐵制造
* 鑄造和燒結
*制藥
* 惰性氣體包裝單晶硅氬氣回收裝置中準確檢測氧含量使用ADEV在線微量氧分析儀
* 發(fā)酵
* 制氮機
*過程制造
* 陶瓷制品
* 鏡片制造
* 食品包裝
* 玻璃／纖維光學
* 惰性氣體焊接
* 燈具制造
*電力
* 環(huán)境控制
* R&D
* 鍋爐監(jiān)控
等各個行業(yè)。
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