BCB高溫?zé)o氧烘箱與ADEV氧氣分析儀的融合應(yīng)用
一、時代背景
在當(dāng)前時代,國產(chǎn)半導(dǎo)體行業(yè)正經(jīng)歷著****的飛速發(fā)展。隨著行業(yè)規(guī)模的不斷擴大,半導(dǎo)體加工技術(shù)的要求也日益提高。在這個高品質(zhì)、高工藝要求的背景下,無氧烘箱技術(shù)成為了行業(yè)內(nèi)的焦點。特別是在半導(dǎo)體烘烤工藝中,氧濃度的準(zhǔn)確監(jiān)控對產(chǎn)品質(zhì)量起著至關(guān)重要的作用。
二、BCB高溫?zé)o氧烘箱的應(yīng)用和特點BCB高溫?zé)o氧烘箱與ADEV氧氣分析儀的融合應(yīng)用
BCB高溫?zé)o氧烘箱在現(xiàn)代工業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用,其主要應(yīng)用于航空航天、石油化工、電子通訊等科研生產(chǎn)領(lǐng)域。在半導(dǎo)體加工中,它主要用于BPO/PI/BCB固化、IC封裝、FPD制造等工藝。
其特點如下:
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使用陶瓷纖維保溫材料,使得烤箱升溫迅速且具有良好的節(jié)能效果。
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擁有一個優(yōu)良的送排風(fēng)系統(tǒng),確保工作區(qū)域溫度均勻。
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采用吸風(fēng)玻璃纖維過濾器,確保工作區(qū)域的潔凈度。BCB高溫?zé)o氧烘箱與ADEV氧氣分析儀的融合應(yīng)用
為確保無氧環(huán)境,烘箱在操作過程中會充入惰性氣體如氮氣或二氧化碳,以去除箱內(nèi)的氧氣,從而防止高溫下的氧化反應(yīng)。
三、無氧烘箱氧濃度監(jiān)控與ADEV氧氣分析儀
為確保無氧烘箱的工藝效果,準(zhǔn)確的氧濃度監(jiān)控是必不可少的。無氧烘箱配備了氮氣控制系統(tǒng)和延時加熱功能,在加熱前自動充入氮氣,確保在加熱前工作區(qū)域已經(jīng)形成了低氧環(huán)境。此外,雙流充氮能量控制技術(shù)也受到了許多用戶的青睞。
而要實現(xiàn)上述功能,關(guān)鍵在于配備ADEV氧氣分析儀。ADEV氧氣分析儀為無氧烘箱提供了實時的氧濃度數(shù)據(jù),確保工藝過程中的氧氣濃度始終維持在設(shè)定范圍內(nèi)。這不僅提高了產(chǎn)品的質(zhì)量,還為企業(yè)節(jié)省了大量的氮氣資源,實現(xiàn)了經(jīng)濟效益與環(huán)境效益的雙贏。
結(jié)論:BCB高溫?zé)o氧烘箱與ADEV氧氣分析儀的融合應(yīng)用
隨著半導(dǎo)體行業(yè)的飛速發(fā)展,無氧烘箱及其相關(guān)技術(shù)將在未來扮演更加重要的角色。而ADEV氧氣分析儀作為無氧烘箱的眼睛,將為半導(dǎo)體加工提供更加**、可靠的數(shù)據(jù)支持,推動行業(yè)向更高品質(zhì)、更高效益的方向發(fā)展。
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