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ADEV G1502氧氣分析儀在半導(dǎo)體電子元件和液晶應(yīng)用中的應(yīng)用|埃登威自動(dòng)化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司

ADEV G1502氧氣分析儀在半導(dǎo)體電子元件和液晶應(yīng)用中的應(yīng)用

**摘要：**本文介紹了ADEV G1502氧氣分析儀的特點(diǎn)、規(guī)格及其在半導(dǎo)體電子元件和液晶制造過程中的應(yīng)用。這種分析儀基于氧化鋯濃淡電池測(cè)量原理，提供了高準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性的氧氣濃度測(cè)量。

一、ADEV G1502氧氣分析儀概述

ADEV G1502是一款采用氧化鋯濃淡電池測(cè)量原理的氧氣分析儀。其臺(tái)式/面板安裝型設(shè)計(jì)，結(jié)合數(shù)字4位顯示，為用戶提供了直觀且準(zhǔn)確的氧氣濃度讀數(shù)。無論是半導(dǎo)體電子元件生產(chǎn)還是液晶制造，**控制氧氣濃度都是至關(guān)重要的。ADEV G1502氧氣分析儀在半導(dǎo)體電子元件和液晶應(yīng)用中的應(yīng)用

二、主要特點(diǎn)與規(guī)格

  1. 測(cè)量范圍：ADEV G1502的測(cè)量范圍從0-1/10/100/1000/10000ppm到10.10-20~10.-0atm，滿足了各種應(yīng)用需求。
  2. 重復(fù)性：在1%至100%的樣品氣體濃度范圍內(nèi)，其重復(fù)性為±1%FS。在10ppm至1%的范圍內(nèi)，重復(fù)性為±2%FS。
  3. 采樣方式：分析儀采用內(nèi)置泵的連續(xù)抽吸式采樣，確保氣體樣本持續(xù)、穩(wěn)定地流入。
  4. 氣體條件：為適應(yīng)不同的工作環(huán)境，這款分析儀可以處理*高達(dá)30 KPa的加壓氣體，流量范圍為1,000~2,000 mL/min，并確保在露點(diǎn)低于環(huán)境溫度的條件下準(zhǔn)確測(cè)量。ADEV G1502氧氣分析儀在半導(dǎo)體電子元件和液晶應(yīng)用中的應(yīng)用
  5. 報(bào)警與輸出：設(shè)備提供FAIL和ALM報(bào)警輸出，確保設(shè)備異常或濃度超出設(shè)定范圍時(shí)及時(shí)報(bào)警。同時(shí)，氧濃度輸出為4-20 mA絕緣，與記錄儀配合使用，可以實(shí)現(xiàn)濃度的實(shí)時(shí)監(jiān)控和記錄。
  6. 電源與接口：使用100~240VAC電源，并配備了INLET、BYPASS OUT和OUTLET等連接口，滿足各種現(xiàn)場安裝需求。

三、在半導(dǎo)體電子元件和液晶應(yīng)用中的應(yīng)用ADEV G1502氧氣分析儀在半導(dǎo)體電子元件和液晶應(yīng)用中的應(yīng)用
在半導(dǎo)體和液晶制造中，氧氣濃度的**控制對(duì)于產(chǎn)品質(zhì)量和良品率有著直接的影響。ADEV G1502氧氣分析儀的高精度、高穩(wěn)定性及多功能性，使其成為這些制造過程中的理想選擇。通過連接記錄儀，操作員可以實(shí)時(shí)監(jiān)控生產(chǎn)環(huán)境中的氧氣濃度，確保產(chǎn)品始終在*佳條件下制造。

**結(jié)論：**ADEV G1502氧氣分析儀，憑借其出色的性能特點(diǎn)和適應(yīng)性，為半導(dǎo)體電子元件和液晶制造提供了有力的支持。其高精度、高穩(wěn)定性的測(cè)量能力，確保了生產(chǎn)過程的有效控制和產(chǎn)品的高質(zhì)量產(chǎn)出。

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