電子特氣品質(zhì)及半導體ppb微量水檢測ADEV QZ360露點儀介紹
在高科技產(chǎn)業(yè)中,電子特氣的品質(zhì)直接影響著產(chǎn)品的性能和可靠性。對于電子特氣的純度要求極高,一般在5N-6N之間,甚至更高。這意味著電子特氣的純度需要達到99.9997%至99.9999%,甚至更高。同時,對于金屬雜質(zhì)的凈化也要求達到10-9級至10-12級,這顯示了對于高純度氣體的嚴格標準。因為一旦電子特氣的純度或是凈度不達標,可能會導致下游產(chǎn)品質(zhì)量問題,甚至可能污染整條產(chǎn)品線,造成大量的產(chǎn)品報廢。電子特氣品質(zhì)及半導體ppb微量水檢測ADEV QZ360露點儀介紹
然而,在許多超純氣體的應用中,尤其是半導體工業(yè)中,氣體中的微量水分是一個關鍵的考量因素。因為氣體的微量水分可能對半導體制造過程中的各種物理和化學反應產(chǎn)生影響,從而影響產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。因此,持續(xù)追蹤和測量氣體的微量水分含量是非常重要的。
盡管對于微量水分的測量一直是一個技術難點,但現(xiàn)在市場上出現(xiàn)了一款簡單、經(jīng)濟的解決方案:ADEV QZ360露點儀。這款儀器基于石英震蕩原理,能夠**測量氣體的露點值,測量下限低至-120°C (相當于不到1 ppbV)。
QZ360露點儀變送器是ADEV儀表多年在石英震蕩露點傳感器生產(chǎn)和校驗的專業(yè)經(jīng)驗的結(jié)晶。結(jié)合標準工業(yè)化的材料和制造流程,這款變送器專為超高純氣體中的微量水分測量而設計,具有堅固而獨立的傳感器。電子特氣品質(zhì)及半導體ppb微量水檢測ADEV QZ360露點儀介紹
QZ360的使用和安裝都非常簡單,可以無縫接入純氣的過程應用中,并可提供可靠的測量結(jié)果。其傳感器外殼由冷拉不銹鋼制成,內(nèi)部材料達到*小的吸濕性,潔凈度達到清潔室標準。該變送器經(jīng)過完整的校準和操作,并提供4-20mA的校準輸出,能夠方便地連接到ADEV的顯示模塊或控制系統(tǒng)。
此外,QZ360的設計具有*小的內(nèi)部結(jié)構(gòu),確保了快速響應速度,并保證了濕度測量時的*快響應速度。傳感器密封墊圈可以在*小壓力10-9torr內(nèi)工作,同時整個系統(tǒng)可承受的*大壓力為240 Barg (3480 psi)。對于安裝和操作來說,QZ360同樣非常簡便。其G1/2”外螺紋VCR氣體接口的間距為 120mm,符合標準。整個產(chǎn)品的高度僅為150mm,重量小于500g。QZ360是一個兩線或三線制的變送器,提供*大的操作靈活性和12-28V直流電源的供電。如果應用中需要顯示露點值或濕度值,QZ360還可以提供兩種顯示方式,包括直接連接顯示器或作為QZ360的電源。電子特氣品質(zhì)及半導體ppb微量水檢測ADEV QZ360露點儀介紹
總的來說,ADEV QZ360露點儀為超純氣體中的微量水分測量提供了一個高效、精準的解決方案。這款儀器不僅滿足了各種復雜和嚴苛的應用需求,而且其簡單、經(jīng)濟的特性使得它在市場上具有顯著的優(yōu)勢。隨著科技的不斷進步和應用需求的持續(xù)增長,相信這種高純度氣體測量技術將繼續(xù)發(fā)揮更大的作用,為高科技產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供有力支持。電子特氣品質(zhì)及半導體ppb微量水檢測ADEV QZ360露點儀介紹