半導(dǎo)體特氣概述及ADEV QZ360露點(diǎn)儀介紹
在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，特氣是不可或缺的關(guān)鍵原材料。這些高純度氣體被廣泛用于薄膜沉積、摻雜、蝕刻和清潔等核心工藝，為集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池和光纖等產(chǎn)品的制造提供了必要的支撐。
在所有這些特氣中，高純度氣體具有非常重要的作用。這些氣體必須具有極高的純度，以保證生產(chǎn)出的半導(dǎo)體產(chǎn)品的性能和可靠性。一般來(lái)說(shuō)，特氣的純度要求達(dá)到5N-6N（N表示純度百分比中的9的個(gè)數(shù)，例如5.7N表示99.9997%，6N表示99.9999%），同時(shí)，金屬雜質(zhì)的含量也需要控制在極低的水平，通常在10-9級(jí)至10-12級(jí)之間。半導(dǎo)體特氣概述及ADEV QZ360露點(diǎn)儀介紹
然而，即使達(dá)到了這樣的純度標(biāo)準(zhǔn)，如果氣體中含有微量水分，也可能會(huì)對(duì)生產(chǎn)過(guò)程產(chǎn)生**影響。在半導(dǎo)體工業(yè)中，氣體的微量水分對(duì)于過(guò)程處理的正常運(yùn)作至關(guān)重要。一直以來(lái)，對(duì)濕氣的持續(xù)追蹤測(cè)量都是個(gè)難點(diǎn)，需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。
現(xiàn)在，ADEV儀表推出了一款簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì)的露點(diǎn)儀QZ360，可以用來(lái)在線測(cè)量氣體的露點(diǎn)值。這款儀器基于石英震蕩原理，能夠測(cè)量下限低至驚人的-120°C (相當(dāng)于不到1 ppbV)，為超純氣體中的微量水分測(cè)量提供了一個(gè)高效、精準(zhǔn)的解決方案。半導(dǎo)體特氣概述及ADEV QZ360露點(diǎn)儀介紹
QZ360露點(diǎn)儀變送器是基于ADEV儀表多年在石英震蕩露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的專(zhuān)業(yè)經(jīng)驗(yàn)，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價(jià)位變送器。它專(zhuān)為超高純氣體中的微量水分測(cè)量而設(shè)計(jì)，具有堅(jiān)固而獨(dú)立的傳感器。
QZ360的使用和安裝都非常簡(jiǎn)單，可以無(wú)縫接入純氣的過(guò)程應(yīng)用中，并可提供可靠的測(cè)量結(jié)果。其傳感器外殼由冷拉不銹鋼制成，內(nèi)部材料達(dá)到*小的吸濕性，潔凈度達(dá)到清潔室標(biāo)準(zhǔn)。該變送器經(jīng)過(guò)完整的校準(zhǔn)和操作，并提供4-20mA的校準(zhǔn)輸出，能夠方便地連接到ADEV的顯示模塊或控制系統(tǒng)。
此外，QZ360的設(shè)計(jì)具有*小的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，確保了快速響應(yīng)速度，并保證了濕度測(cè)量時(shí)的*快響應(yīng)速度。傳感器密封墊圈可以在*小壓力10-9torr內(nèi)工作，同時(shí)整個(gè)系統(tǒng)可承受的*大壓力為240 Barg (3480 psi)。對(duì)于安裝和操作來(lái)說(shuō)，QZ360同樣非常簡(jiǎn)便。其G1/2”外螺紋VCR氣體接口的間距為 120mm，符合標(biāo)準(zhǔn)。整個(gè)產(chǎn)品的高度僅為150mm，重量小于500g。QZ360是一個(gè)兩線或三線制的變送器，提供*大的操作靈活性和12-28V直流電源的供電。如果應(yīng)用中需要顯示露點(diǎn)值或濕度值，QZ360還可以提供兩種顯示方式，包括直接連接顯示器或作為QZ360的電源。半導(dǎo)體特氣概述及ADEV QZ360露點(diǎn)儀介紹
總的來(lái)說(shuō)，ADEV QZ360露點(diǎn)儀為超純氣體中的微量水分測(cè)量提供了一個(gè)高效、精準(zhǔn)的解決方案。這款儀器不僅滿足了各種復(fù)雜和嚴(yán)苛的應(yīng)用需求，而且其簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì)的特性使得它在市場(chǎng)上具有顯著的優(yōu)勢(shì)。隨著科技的不斷進(jìn)步和應(yīng)用需求的持續(xù)增長(zhǎng)，相信這種高純度氣體測(cè)量技術(shù)將繼續(xù)發(fā)揮更大的作用，為高科技產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供有力支持。半導(dǎo)體特氣概述及ADEV QZ360露點(diǎn)儀介紹
