特氣應(yīng)用及半導(dǎo)體Ppb露點(diǎn)儀QZ360介紹
特氣，即特種氣體，廣泛應(yīng)用于集成電路制造、顯示面板生產(chǎn)以及光伏電池生產(chǎn)等高科技領(lǐng)域。在這些領(lǐng)域中，特氣的純度、品種和性質(zhì)都有著特殊的要求，是保證工藝過(guò)程順利進(jìn)行的關(guān)鍵因素。
在集成電路制造中，特氣主要應(yīng)用于清洗、刻蝕、成膜和光刻等環(huán)節(jié)。例如，摻雜用氣體用于改變半導(dǎo)體的電學(xué)性質(zhì)，離子注入氣則用于將電荷注入到半導(dǎo)體中，而清洗用氣則用于**表面雜質(zhì)。這些特氣的純度和品質(zhì)直接影響到集成電路的性能和可靠性。
在顯示面板生產(chǎn)中，成膜工藝是關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一，通過(guò)化學(xué)或物**相沉積、光刻和刻蝕等工藝過(guò)程實(shí)現(xiàn)。特氣在這些過(guò)程中扮演著重要的角色，為成膜提供必要的原料或參與反應(yīng)過(guò)程。特氣應(yīng)用及半導(dǎo)體Ppb露點(diǎn)儀QZ360介紹
在光伏電池生產(chǎn)中，特氣主要用于擴(kuò)散、薄膜沉積和刻蝕等環(huán)節(jié)。雖然所用氣體種類相對(duì)較少，但其用量遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)半導(dǎo)體行業(yè)中的用量。這些特氣在太陽(yáng)光與半導(dǎo)體材料的作用中起到關(guān)鍵作用，形成光伏效應(yīng)。
然而，在這些超純氣應(yīng)用中，氣體中殘余的濕氣對(duì)過(guò)程處理的正常運(yùn)作至關(guān)重要。一直以來(lái)，持續(xù)追蹤測(cè)量濕氣都是一個(gè)難點(diǎn)，需要使用復(fù)雜的濕度分析儀或昂貴的分析技術(shù)。但現(xiàn)在，ADEV儀表推出了一款簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì)的方案——QZ360露點(diǎn)儀變送器，專門用來(lái)在線測(cè)量超高純氣體中的微量水分含量。
QZ360露點(diǎn)儀變送器基于ADEV儀表多年在石英震蕩露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的專業(yè)經(jīng)驗(yàn)，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價(jià)位變送器。這款小巧的變送器擁有堅(jiān)固而獨(dú)立的傳感器，專門用來(lái)測(cè)量超高純氣體中的微量水分含量。它不僅使用和安裝簡(jiǎn)單，還具有各種可選型號(hào)和功能，以滿足各種特殊需求。特氣應(yīng)用及半導(dǎo)體Ppb露點(diǎn)儀QZ360介紹
QZ360的測(cè)量下限達(dá)到驚人的-120°C露點(diǎn)（相當(dāng)于不到1 ppbV），測(cè)量穩(wěn)定性和重復(fù)性好。它采用高度集成的采樣裝置，提供模擬和數(shù)字輸出，安裝簡(jiǎn)便，并具有VCR過(guò)程接口和緊湊小巧的設(shè)計(jì)。此外，可選的顯示單元可以輕松連接并作為QZ360的電源。
在許多高純氣體的應(yīng)用中，如半導(dǎo)體行業(yè)，氣體的殘留水分對(duì)工藝操作的影響至關(guān)重要。根據(jù)以往的經(jīng)驗(yàn)，微量水分測(cè)量一直是一個(gè)難題，但現(xiàn)在ADEV推出了一款簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì)的產(chǎn)品，可以在線測(cè)量露點(diǎn)達(dá)-120°C（小于1ppb）。QZ360露點(diǎn)變送器的優(yōu)勢(shì)在于ADEV石英震蕩傳感器生產(chǎn)和校準(zhǔn)的經(jīng)驗(yàn)和專長(zhǎng)。結(jié)合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)材料和制造工藝，這款低成本變送器適用于大規(guī)模集成半導(dǎo)體制造廠或高純氣體管線中。特氣應(yīng)用及半導(dǎo)體Ppb露點(diǎn)儀QZ360介紹
綜上所述，特氣在高科技領(lǐng)域的應(yīng)用中發(fā)揮著重要作用，而QZ360露點(diǎn)儀變送器則為這些領(lǐng)域中的濕度測(cè)量提供了簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì)的解決方案。隨著特種氣體需求的持續(xù)增長(zhǎng)和技術(shù)水平的不斷提高，相信這款儀器將在未來(lái)的特氣應(yīng)用中發(fā)揮更加重要的作用。特氣應(yīng)用及半導(dǎo)體Ppb露點(diǎn)儀QZ360介紹
