電子氣純度與精度Ppb微量水ADEV QZ360露點儀介紹
在半導體制造中，電子氣體的純度與精度是至關重要的。它們是晶圓制造過程中不可或缺的原材料，直接影響產(chǎn)品的性能和可靠性。其中，純度是氣體中雜質(zhì)含量的高低，而混配精度則是不同氣體之間**配比的度量。為了滿足不斷提高的集成電路制造工藝要求，電子特氣的純度和混配精度必須達到極高的水平。
電子特氣的純度通常要求在5N以上，而在晶圓制造環(huán)節(jié)中，純度要求更為嚴格，一般在6N以上。這意味著氣體中的雜質(zhì)含量必須極低，以減少對半導體器件性能的負面影響。為了達到這樣的純度水平，生產(chǎn)過程中采用了多種技術手段，如氣體純化、氣體合成等。這些技術能夠去除氣體中的有害雜質(zhì)，提高其純度，以滿足半導體制造的要求。電子氣純度與精度Ppb微量水ADEV QZ360露點儀介紹
混配精度是另一項關鍵參數(shù)，它決定了不同氣體之間的**配比。在電子特氣的生產(chǎn)過程中，必須對各種氣體進行**控制，以保證其比例的準確性。行業(yè)內(nèi)部一般以ppm、ppb、ppt以及百分數(shù)等單位來表示組分配比。這些單位表示了氣體濃度的度量，ppm、ppb和ppt分別表示十億分之一、萬億分之一和百萬億分之一的濃度單位，而百分數(shù)則表示相對濃度的比例。
隨著集成電路制造工藝的不斷迭代升級，線寬越來越窄，晶體管密度越來越高，對電子特氣的純度、穩(wěn)定性等指標的要求也越來越高。這不僅要求生產(chǎn)過程中不斷提高技術水平，同時也推動了相關儀器和設備的發(fā)展。電子氣純度與精度Ppb微量水ADEV QZ360露點儀介紹
ADEV儀表推出的QZ360露點儀變送器為這一領域帶來了新的解決方案?；谑⒄鹗幝饵c傳感器生產(chǎn)和校驗的專業(yè)經(jīng)驗，結(jié)合標準工業(yè)化的材料和制造流程，這款變送器適用于半導體制造行業(yè)和超純氣體應用，能夠測量超高純氣體中的微量水分含量。
QZ360露點儀變送器的測量下限達到驚人的-120°C露點（相當于不到1 ppbV），測量穩(wěn)定性和重復性好。它采用高度集成的采樣裝置，提供模擬和數(shù)字輸出，安裝簡便，并具有VCR過程接口和緊湊小巧的設計。此外，可選的顯示單元可以輕松連接并作為QZ360的電源。
QZ360的使用和安裝都很簡單，具有兩線制、三線制和危險區(qū)域的型號可選，可以滿足各種特殊需求。它的傳感器外殼由冷拉不銹鋼制成，內(nèi)部潔凈度達到清潔室標準。變送器提供完整的校準和操作功能，并可連接到ADEV的顯示模塊或控制系統(tǒng)。此外，該產(chǎn)品的設計具有*小的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，確保了快速響應速度。傳感器密封墊圈可以在*小壓力10-9torr內(nèi)工作，整個系統(tǒng)可承受的*大壓力為240 Barg (3480 psi)。電子氣純度與精度Ppb微量水ADEV QZ360露點儀介紹
在許多高純氣體的應用中，如半導體行業(yè)，氣體的殘留水分對工藝操作的影響至關重要。QZ360露點儀變送器的推出填補了市場上的空白，提供了一種簡單、經(jīng)濟的在線測量露點的方法。它的出現(xiàn)為電子特氣的純度和混配精度提供了有效的監(jiān)測和控制手段，有助于提高半導體產(chǎn)品的性能和可靠性。隨著技術的不斷進步和應用需求的不斷增長，相信未來還會有更多**的產(chǎn)品和服務涌現(xiàn)出來，推動電子氣體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展邁向新的高度。電子氣純度與精度Ppb微量水ADEV QZ360露點儀介紹
