三氟化氮氣體中微量HF含量用ADEV氟化氫測試儀|埃登威自動化系統(tǒng)設(shè)備（上海）有限公司

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三氟化氮氣體中微量HF含量用ADEV氟化氫測試儀

三氟化氮氣體信息概覽

基本信息

中文名：三氟化氮
外文名：Nitrogen trifluoride
CAS號：7783-54-2
分子式：F?N（或NF?，根據(jù)表示習(xí)慣）
分子量：71.0019
中文別名：氟化氮
英文別名：232-007-1; trifluoroamine

物性數(shù)據(jù)

性狀：無色、帶有霉味的氣體。三氟化氮氣體中微量HF含量用ADEV氟化氫測試儀
熔點（oC）：-208.5
沸點（oC）：-129
相對密度（水=1）：1.89（沸點，液體）
相對蒸氣密度（空氣=1）：2.45
臨界溫度（oC）：-39.3
臨界壓力（MPa）：4.53
溶解性：不溶于水。

存儲方法

包裝材料：70℃以下，NF?氣體對普通金屬不腐蝕，可使用鋼、銅、鎳、鋁和不銹鋼作為包裝材料。氣瓶需每兩年檢驗一次。
運輸規(guī)定：按有毒高壓液化氣體規(guī)定運輸，汽車、火車可運，飛機(jī)禁運。氣瓶充裝系數(shù)不大于0.01。
儲存條件：儲存于陰涼、通風(fēng)的有毒氣體專用庫房，遠(yuǎn)離火種、熱源。庫溫不超過30℃。與易（可）燃物、還原劑、食用化學(xué)品分開存放。儲區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。

合成方法

在熔融氟銨酸存在下，通過氨直接氟化工藝合成，反應(yīng)產(chǎn)物經(jīng)過除雜和低溫收集得到純凈的NF?。

主要用途三氟化氮氣體中微量HF含量用ADEV氟化氫測試儀

微電子工業(yè)：作為優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，與CF?+O?混合氣體對硅和氮化硅的蝕刻具有更高的速率和選擇性，且對表面無污染。同時，NF?與氫反應(yīng)釋放大量熱量，是高能化學(xué)激光器的重要應(yīng)用原理。
高能燃料：NF?在高溫下與有機(jī)化合物反應(yīng)常伴有爆炸性，但也被視為一種潛在的高能燃料。

請注意，操作三氟化氮時需嚴(yán)格遵守**規(guī)范，以防意外發(fā)生。

在三氟化氮氣體中如果有PPM級的氟化氫氣體用什么來測量呢?

今天我們來看ADEV這款激光氟化氫氣體分析儀的原理測量技術(shù)參數(shù)等:

AtLAS 激光氣體分析儀基于可調(diào)諧激光吸收光譜技術(shù)（TDLAS）原理進(jìn)行測量，獲取待測氣體特征吸收的光譜譜線。半導(dǎo)體激光器發(fā)射出特定波長的激光束（僅能被被測氣體吸收），穿過被測氣體時，激光強(qiáng)度的衰減與被測氣體的濃度成一定的凼數(shù)關(guān)系，從而進(jìn)行的定量分析。

AtLAS 激光氣體分析儀采用 19 英寸標(biāo)準(zhǔn)機(jī)箱，將微控制器與數(shù)字化處理技術(shù)相結(jié)合，具有完整的自我診斷功能。

技術(shù)指標(biāo)：	ADEV激光HF氣體測試儀

測量范圍	0～10/100/1000/10000ppm，0-100%
	0～10/100/1000/10000ppm，0-100%
線性誤差	±2%FS

重復(fù)性	±1%FS
穩(wěn)定性	±1%FS/半年
響應(yīng)時間	T90 小于 10s
校準(zhǔn)周期	1 年（建議）
顯示器	7 寸彩色觸摸屏
氣路接口	G1/4＂-Φ6 快擰接頭（可以定制）
接線方式	接線端子

傳感器壽命	大于 2 年（正常使用）
儀器壽命	大于 5 年（正常使用）
供電電源	85～264VAC，50/60Hz
	三氟化氮氣體中微量HF含量用ADEV氟化氫測試儀
儀器功耗	＜20VA
環(huán)境溫度	-10～+50℃
環(huán)境濕度	小于 90%RH
進(jìn)氣壓力	常壓±10%（出氣口應(yīng)為大氣壓）
進(jìn)氣流量	1～3L/min
通訊	RS485（標(biāo)配）/RS232（選配）
通訊	Modbus RTU 協(xié)議
	Modbus RTU 協(xié)議

	數(shù)量：1 組
模擬信號	輸出模式：4-20mA/ 0-20mA，支持軟
模擬信號	件切換
	件切換
	負(fù)載：小于 500Ω
開關(guān)量信號	報警點：1 個
開關(guān)量信號	繼電器觸點容量：24VDC，0.2A
	繼電器觸點容量：24VDC，0.2A