|
X軸(驅(qū)動(dòng)部)
|
|
測量范圍
|
50mm
|
|
分辨率
|
0.05μm
|
|
長度基準(zhǔn)
|
線性編碼器
|
|
驅(qū)動(dòng)速度
|
0-20mm/s
|
|
測量速度
|
0.02-5mm/s
|
|
移動(dòng)方向
|
向后
|
|
直線度
|
0.2μm/50mm
|
|
定位
|
±1.5°（傾角，有DAT功能），30mm（向上/向下）
|
|
檢測器
|
|
范圍/分辨率
|
800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,8μm/0.0001μm
|
|
檢測方法
|
無軌/有軌測量
|
|
測力
|
4mN或0.75mN
|
|
測針針尖
|
金剛石,90o/5μmR(60o/2μmR)
|
|
導(dǎo)頭曲率半徑
|
40mm
|
|
導(dǎo)頭壓力
|
小于400mN
|
|
類型
|
差動(dòng)電感式
|
|
尺寸(WxDxH)
|
425x94x160mm
|
|
重量
|
主機(jī)2.7kg
|
|
連接裝置3.8kg
|
|
評估能力
|
|
適用標(biāo)準(zhǔn)
|
JIS\'82,JIS\'94,JIS\'01,ISO,ANSI,VDA
|
|
評估輪廓
|
P(原始輪廓),R(表面粗糙度曲線),DIN4776,粗糙度曲線motif
|
|
評價(jià)參數(shù)
|
Ra,Ry,Rz,Rt,Rp,Rq,Rv,Sm,S,Pc,R3z,mr(c),Rpk,Rvk,δc,Rk,Mr1,Mr2
Lo,Ppi,R,AR,Rx,A1,A2,Vo,HSC,mr,SK,Ku,Δa,Δq,Wte,Wx,W,AW(可定制)
Rz1max(ISO),Rmax(VDA,ANSI)
|
|
分析圖表
|
ADC、BAC、功率譜圖
|
|
評價(jià)曲線
|
斷面曲線、粗糙度曲線、DF曲線、波紋曲線表面粗糙度MOTIF、波形MOTIF曲線
|
|
解析圖表
|
負(fù)荷曲線、振幅分布曲線
|
|
曲線補(bǔ)償
|
拋物線、雙曲線、圓錐、圓、二次曲線、傾斜補(bǔ)償、無補(bǔ)償
|
|
濾波類型
|
2CR,PC75,高斯
|
|
截止波長
|
lc0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8,25mm
ls0.25,0.8,2.5,8,25,80,250μm無濾波器
lf0.08,0.25,0.8,2.5,8,25mm無濾波器
|
|
取樣長度
|
0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8,25mm;
|
|
數(shù)據(jù)補(bǔ)償功能
|
傾斜補(bǔ)償、R平面（曲面）補(bǔ)償、橢圓補(bǔ)償、拋物線補(bǔ)償、雙曲線補(bǔ)償、二次曲線自動(dòng)補(bǔ)償、多項(xiàng)式補(bǔ)償、多項(xiàng)式自動(dòng)補(bǔ)償
|
